Технология тонких пленок:
Антоненко С.В.
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем.
Έτος:
2008
Εκδότης:
ЭБС Лань
Γλώσσα:
russian
Σελίδες:
104
ISBN 10:
5726210360
ISBN 13:
9785726210360
Αρχείο:
PDF, 1.56 MB
IPFS:
,
russian, 2008